大手鉄鋼メーカー研究室からの依頼でクリーンルーム内で使用する機能膜製造装置である。 高真空、高清浄が必須条件で完成後客先で真空テスト前のベーキングがなかなか進まないとの連絡を受けたが、先方の努力で無事テストまで持ち込めたようだ。 以前の防毒…